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    資訊動態

    電子工業高純水水質試行標準

    文字:[大][中][小] 2016-3-18    瀏覽次數:2650    
    我國電子工業部高純水水質試行標準
    化學指標單位:μg/L
    序號
    水質項目
    一級高純水指標
    二級高純水指標
    1
    電阻率(25℃)MΩ·cm
    ≥15
    ≥10
    2
    電導率,μs/cm
    0.05
    0.1
    3
    PH值
    6.8~7.2
    6.6~7.4
    4
    細菌總數,個/mL
    <3
    <9
    5
    微粒(直徑>0.5μm,粒/mL)
    <150
    <300
    6
    二氧化硅
    <10
    <20
    7
    有機物(以COD計)
    <0.3
    <0.5
    8
    鈉 Na
    <0.5
    <2
    9
    鐵 Fe
    <1
    <2
    10
    銅 Cu
    <0.5
    <1
    11
    鈣 Ca
    <1
    <3
    12
    鎂 Mg
    <0.2
    <1
    13
    鋅 Zn
    <0.5
    <1
    14
    錳 Mn
    <0.2
    <0.5
    說明:①一級高純水適用于大規模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。
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